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壓電 · 線性位移台— LS65x.Lab.O / .R (閉環)
室溫 ·壓電運動解決⽅案 —“.Lab 係列“ 良好封裝的位移台
外形緊湊，動⼒性能不折扣的壓電線性台；同時保證優質的價格空間。
• 超安靜運動， 20 kHz驅動頻率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設計
• 閉環控製 · 位置傳感⽀持電阻型(.R) 和光學型(.O)
• ⾼精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選
• 經濟型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm
• 最⼩步伐優於 10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉接件
• 控製器兼容旋轉台，搖擺台
• ⽀持⽆磁( .NM)、⾼真空( .HV)和超⾼真空 ( .UHV)選件
2D ·尺⼨圖
LS65x.Lab.O / .R 壓電線性台 — 技術參數
可選版本 ⇨ | 正常版本 | .NM | .HV | .UHV | |
.NM 絕對⽆磁版本； .HV， ⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本； | |||||
1 底⾯尺⼨*⾼度 | 65 × 65 mm × 12 mm | ||||
2 主體材料 | 不鏽鋼 | 純鈦 | 不鏽鋼 | 不鏽鋼 | |
3 線纜 & 接頭 | 標準屏蔽線纜 DSub9 接頭 | kapton漆包線， PEEK-2mm插針 | |||
運動參數-空間推薦安裝形式 I. (下列性質均在推薦安裝形式下測得) | |||||
4 運動⾏程 | 30 mm | ||||
5 最⼤速度 | ~ 20 mm/s | ||||
6 最⼩步伐 | ~ 10 nm | ||||
7 驅動頻率 | Max. 20 kHz (超安靜運動) | ||||
8 最⼤⽔平推⼒ | 2 N | ||||
9 保持⼒ | 5 N | ||||
0.3 mrad / 0.2 mrad | |||||
10 全⾏程俯仰/偏擺 | |||||
運動參數-空間推薦安裝形式 II. (下列性質均在推薦安裝形式下測得) | |||||
11 | 最⼤垂直負載 | 2 N | |||
12 | 保持⼒ | 5 N | |||
傳感精度 | |||||
13 位置傳感類型 | - 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O ) | ||||
14 位置傳感量程 | 30 mm | ||||
15 位置傳感分辨率 | - 電阻型傳感( .R )， 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O )， 10 nm， 1nm可選(默認 10nm) | ||||
