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Carrier.S100-OB.Z 物鏡⾃動對焦掃描台

  • 產品型號：
  • 產品時間：2023-12-26
  • 簡要描述：壓電 · ⼤範圍掃描運動 — Carrier.S100-OB.Z
    室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學，半導體表征
  • 產品介紹

壓電 · ⼤範圍掃描運動 — Carrier.S100-OB.Z

室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學，半導體表征

Carrier.S100-OB.Z 物鏡⾃動對焦掃描台產品特⾊

• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；

• 閉環定位精度優於 1nm；

• 最⼤負載 500 g；

• 針對光學顯微鏡-超分辨定製化解決⽅案；

• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級


Carrier.S100-OB.Z 物鏡⾃動對焦掃描台 — 技術參數

可選版本 ⇨

正常版本


.NM     絕對⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1

運動⽅向

Z 軸

2

⾏程

100 um

3

線性度

0.02%

4

搖擺 / 俯仰

30 urad

5

內置傳感器

電容式傳感

6

傳感器噪⾳

0.3 nm

7

Z ⽅向分辨率，開環

0.1 nm

8

穩定時間 (90%位置到達)

15 ms

0.4 N/um

9

剛性

10

共振頻率(⽆負載)

650 Hz

11

共振頻率( 150 g 負載)

275 Hz

12

整體重量

270 g

13

不鏽鋼304 ，鋁合⾦

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